張江實驗室（中國科學院上海高等研究院）矽光子市級重（chóng）大專項200mm矽光中試（shì）平台拓展和成套工（gōng）藝開（kāi）發晶圓自（zì）動清（qīng）洗係統和晶圓片噴霧清洗設備采購項目中標公告 2019年04月（yuè）24日 上海 中標結（jié）果

招標正文


公告（gào）概要：

　　 (略) 有限公 (略) 上 (略) 的委托，就“張江實驗室（ (略) 上 (略（luè）) ）矽光子市（shì）級重大專項 * mm矽光中試平台拓展和成套工藝開發晶圓（yuán）自動清洗係統（tǒng）和晶圓片噴霧清洗設備采購項目”項目（項目編（biān）號： *** ）組織采購（gòu），評標（biāo）工作已經結束，中標結果如下：

* 、項目信息（xī）

項目編號： ***

項目名稱：張江實驗室（shì）（ (略) 上 (略) ）矽光子市級重大（dà）專項 * mm矽光中試平台拓（tuò）展和成套工藝開發晶圓自動清洗係統（tǒng）和晶圓片噴霧清洗設備采購項目

項目聯係人：趙麗莉

聯係方式： * - * - *** × *

* 、采購單位（wèi）信息

采購單位名稱： (略（luè）) 上 (略)

采購單位地址： (略) 市 (略) 區海科路 * 號

采購單位聯（lián）係方式（shì）：陳（chén）潔（jié） ***

* 、項目用途、簡（jiǎn）要技術要 (略) 日（rì）期：

本次采購貨物為：晶圓（yuán）自動清洗係（xì）統： * 台/套，用於高溫氮化矽介質膜（mó）熱生長、 * 氧化矽介質膜熱生長工（gōng）藝前的清洗，化學液包括DHF、SPM、SC1、SC2；晶（jīng）圓片噴霧清洗設備： * 台/套，用（yòng）於（yú）幹法（fǎ）刻蝕、離（lí）子注入去膠後的（de）清（qīng）洗，化學液包括DHF、SPM、SC1。

* 、采（cǎi）購代理機構信息（xī）

采（cǎi）購代理機（jī）構（gòu）全稱（chēng）： (略（luè）) 有限公（gōng）司

采購代理機構地址：中國 (略) 西路 * 號（hào）美麗園大廈 * 樓

采購代理機構聯係方式：趙麗莉 * - * - *** × *

* 、中標信息

招標公告日期（qī）： * 日

中標（biāo）日期： * 日

總（zǒng）中標（biāo）金額： * .0 萬元（人民幣）

中標供應商名稱（chēng）、聯係地址及中標金額：

本項（xiàng）目招標代理費（fèi）總金額：5. * 萬元（人民幣（bì））

本項目招標（biāo）代理費收（shōu）費標準：

根據國家（jiā）發改委 * 號文貨（huò）物類標準（zhǔn）收費下（xià）浮 * %後收取。

評審專（zhuān）家名單（dān）：

沈培堅、談進、張惠芬、張軒雄、李斌

中標標的名稱、規格型號、數量、單（dān）價、服務要求：

晶圓（yuán）自動清洗係統： * 台/套；規格（gé）型（xíng）號：Bpure-WE * AHF ： *** . * 元；

晶圓片（piàn）噴霧清洗設備： * 台/套（tào）；規格（gé）型號：Bpure-WC * ARC: *** . * 。

* 、其它補充事宜（yí）

溫馨提示：本招標項目僅供（gòng）付費會員查閱，您（nín）的權限不能瀏覽詳細信（xìn）息（xī）,聯係工作人員辦理會員入網事宜，成為正式會員後方可獲取詳（xiáng）細的招標公告、報名表格、項目附件及部分項目招標文件等。
聯係人：郝工
電話：010-68960698
郵箱：1049263697@qq.com